imec 聯手台積電與 ASML 發表 12 吋晶圓「2D 材料電晶體」技術突破,首度利用單次 EUV 微影實現 50 奈米閘極間距(CPP)。本文 1,100 字精華版深度拆解二硫化鉬、二硒化鎢如何打破矽的物理漏電極限,助攻 A10 埃米製程,並全面盤點美、日、台三地半導體設備與材料隱形冠軍的長線佈局策略。
當摩爾定律即將撞上物理極限,全球半導體產業的目光,已從「如何把矽擠壓得更小」,轉向「用什麼新材料取代矽」。在 2026 年超大規模積體電路技術研討會(VLSI Symposium)上,比利時微電子研究中心(imec)聯手微影設備龍頭艾司摩爾(ASML)與晶圓代工霸主台積電(2330-TW / TSM-US),共同發表了一項後矽時代的里程碑成果:成功在單片 12 吋商業晶圓上,開發出全面相容後段製程的 2D 材料電晶體路徑。
這項突破意味著科學家在實驗室裡研究多年的「神奇材料」正式走向商用量產,為台積電未來的 A10(10 埃米,即 1 奈米)以下製程及新一代 AI 晶片架構鋪平了道路。
一、 為什麼需要 2D 材料?矽遇到了什麼物理死穴?
隨著製程一路微縮到 2 奈米以下,傳統矽通道會遭遇嚴重的短通道效應(Short-Channel Effects)與量子隧穿效應(Quantum Tunneling)。即使閘極下達關閉指令,電子依然會直接穿透屏障導致嚴重漏電。
為了解決這個問題,科學家找到了 2D 過渡金屬二硫族化物(TMD 材料),如二硫化鉬($\text{MoS}_2$)與二硒化鎢($\text{WSe}_2$)。這些材料的極限厚度僅有原子級(約 0.7 奈米)。由於通道薄到了極致,閘極對電子的靜電控制力大幅提升,即使通道長度極短,也能完美鎖住電子,徹底解決漏電死穴。
二、 三方聯手攻克「從實驗室到晶圓廠」的三大技術突破
過去 2D 材料最大的痛點是無法在標準 12 吋大晶圓上維持性能。本次三方團隊成功交出了三張震撼業界的成績單:
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首創 50 奈米閘極間距(CPP): 在不犧牲電晶體效能的前提下,首度將衡量晶片密度的核心指標 CPP 壓縮至 50 奈米,達到了商業化先進節點的相容標準。
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單次 EUV 微影微縮至 28 奈米: 搭配 ASML 的單次圖形化極紫外光(EUV)技術,成功拉出短至 28 奈米的 2D 材料通道長度。
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創新「倒序製程」實現 94% 良率: 團隊先在基板上做出溝槽並填入鎢(W)作為底層接點,隨後才轉移 2D 材料並沉積交疊閘極。這套製程讓電晶體在閘極電壓為零時展現極低關閉電流,晶圓可操作良率高達 94%。
三、 全球半導體新三國誌:美、日、台供應鏈縱向對標
這項技術未來將優先導入超高度微縮的邏輯元件、後段製程(BEOL)與晶背供電(BSPDN)。面對這場材料革命,美、日、台供應鏈正在重新洗牌:
1. 台灣:製造與系統整合核心
台積電技術長曹敏指出,這次合作能確保創新的通道材料快速整合到先進製造。台股市場中,圍繞在後段製程、晶背供電與特殊金屬接點的設備與材料商將長線受益:
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中砂(1560): 其鑽石碟為新材料所需的極致平整晶圓表面(CMP 製程)提供關鍵控制。
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昇陽半導體(8028): 新製程與晶背供電需要極致的晶圓薄化技術,其薄化龍頭地位具備長線紅利。
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弘塑(3131)、萬潤(6187): 2D 材料未來將導入 3D 堆疊電晶體(CFET),對先進封裝與後段濕製程設備台廠帶來轉型紅利。
2. 美國:精密原子級製程設備
2D 材料厚度僅三個原子厚,需要達到原子級精度的沉積與蝕刻技術:
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應用材料 Applied Materials(AMAT-US): 物理氣相沉積(PVD)與原子層沉積(ALD)霸主,將受益於 2D 材料所需的極致均勻成膜技術。
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科林研發 Lam Research(LRCX-US): 其原子層蝕刻(ALE)技術是在極小空間內精準蝕刻金屬接點、且不傷及 0.7 奈米材料的唯一解。
3. 日本:關鍵材料與底層技術黑手
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東京威力科創 Tokyo Electron(8035-JP): 專精於先進精密塗佈與成膜設備,已密集佈局多項 3D 奈米片與 2D 通道整合的關鍵設備專利。
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信越化學(4063-JP)& SUMCO(3436-JP): 研發高規格的新型特殊 12 吋基板,是承載這層原子級神奇材料的最強底座。
四、 台灣投資人的三段式長線佈局策略
這項技術為 2026 年後的半導體算力維持指數型成長注入強心針。建議個人投資者採取三段式眼光配置資產:
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第一階段(2026-2027):首選權值龍頭。 聚焦 台積電(2330-TW) 與 ASML(ASML-US),無論新材料何時量產,研發階段的 EUV 機台採購與台積電的晶圓霸權都將率先受惠。
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第二階段(2027-2029):布局美日設備。 隨著試產線(Pilot Line)開啟,轉向佈局 應用材料(AMAT-US) 與 東京威力科創(8035-JP)。
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第三階段(2029年以後):收割台股耗材。 當製程進入大規模量產,中砂、昇陽半導體 等在地化耗材與晶圓薄化概念股將迎來營收的實質暴衝。



